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近年来还出现了一些新的处理工艺，如下：  (1)生物分解法。该法通过附着在潮湿介质上的活性微生物，将VOCs转化为简单的无机物或细胞组成物质。与传统的废气处理技术相比，生物处理技术具有效果好、投资及运行费用低、安全性好、无二次污染等优点。但是为了进一步实现大规模的工业化应用，仍有很多问题需要解决，包括培养等。(2)放电等离子体。该法通过高电压放电形式，获得非热平衡等离子体，产生高能电子发生置换反应，生成小分子无机物，废气工程运维，变为无的物质，具有工艺简单、流程短、可操作性好等特点，特别是在节能方面有很大的潜力。但目前该技术仍未能解决一些关键的科学问题，导致了其尚未走近实用化行列。  (3)光催化氧化法。在常温、常压条件下，能将废气中的有机物分解为无机物，有较大的应用价值，具有反应、不受溶剂分子影响、易回收、反应速率快等优点，但这项技术还存在几个关键的技术难题，因此目前仍停留在实验研究阶段，尚未得到广泛的工业化应用。  (4)膜分离技术。该技术是目前废气处理领域的研究热点，具有流程简单、VOCs回收率高、能耗低、无二次污染等优点，国外有许多成功的范例。废气处理膜分离工艺包括：蒸汽渗透(VP)、气体膜分离(GMS／VMP)和膜接触器等。目前膜分离技术应用范围尚小，并未大面积推广。

活性炭吸脱附与催化焚烧组合工艺

活性炭吸附与催化焚烧，两者除了可以单独运用外，也可以组合运用。组合运用首要使用两者之间具有互补性的特点：活性炭吸附适用于大风量、低浓度废气，催化焚烧适用于小风量、高浓度废气，且活性炭在高温下被吸附的有机物可以脱附出来。从另一个角度看，此组合工艺可视为活性炭的现场再生使用工艺，既减少了活性炭吸附饱满后的更换处置成本，一起定时的浓缩脱附也避免了因活性炭吸附饱满未及时更换形成的超支排放危险。

有害物质提取与隔离法治理： 这种技术旨在将VOCs废气中的有害物质进行提取和隔离，并将剩余气体中的其他有机物质进行回收利用，不仅达到了废气的回收利用，也可以减少气体进去空气层后对环境的再次污染和重创。由于投资成本大，因此它一般多适于大型的工业领域，这些行业VOCs废气含量高，可提取和利用的价值较高。但是，随着我国经济的不断发展和技术的不断更新，有害物质提取与隔离法治理将会被逐渐广泛应用。

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